牟昌華 控制氣也為爭口氣

人物小傳

牟昌華，北京七星華創(chuàng)流量計有限公司總經(jīng)理，教授級高級工程師，工學(xué)博士。

牟昌華在氣體質(zhì)量流量測量和控制領(lǐng)域工作多年，申請獲得專利近20余項，成功研發(fā)了CS200、CS300、CS230G多個系列產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于我國大規(guī)模集成電路裝備、光伏、真空等領(lǐng)域，打破了國外對我國的技術(shù)壟斷。2012年獲得北京科技二等獎，2015年獲北京科技三等獎。

牟昌華曾榮獲“2010年北京市勞模”、“2013年全國五一勞動獎?wù)?rdquo;、“2015年全國勞模”。

如何作自我介紹，是常常讓牟昌華感到頭疼的事。在介紹自己時，他總是愛用“工程師”來作概括，但一提到他的研究領(lǐng)域，牟昌華不得不放慢語速，耐心地向?qū)Ψ街v解上十幾分鐘。很多時候，他還要用上比喻的修辭手法——他的研究太“冷門”了。

雖然“冷”，但至關(guān)重要。牟昌華所研究的，是一種名為“氣體質(zhì)量流量控制器”的裝置，這是一種曾經(jīng)被西方發(fā)達國家技術(shù)壟斷的先進設(shè)備，眾多工業(yè)領(lǐng)域都會用到。

核心

“冷門技術(shù)”

生活中的“熱應(yīng)用”

“舉個例子，我們手機的觸摸屏、外殼、芯片，它們的制造都要用到它。”牟昌華打了個比方，氣體質(zhì)量流量控制器就像家里的水龍頭。水流太小，菜洗不干凈，水流太大，就會造成浪費。水流要開多大，除了要靠水龍頭，要靠人的大腦、眼睛和手來調(diào)節(jié)。“我們的產(chǎn)品就相當(dāng)于把人和水龍頭結(jié)合在一起，可以精確地控制你想要的氣體的流量。”

這樣說，可能還會有許多人不理解氣體質(zhì)量流量控制器的用途。但是在我們生活中的方方面面，都在和它發(fā)生著聯(lián)系。比如手機的金屬外殼，就是把外殼放在一個真空的環(huán)境中，然后通入特殊的氣體來給它上色的。如果氣體的流量和質(zhì)量控制不好，那么不同批次的手機外殼顏色可能就會有差別。

再比如街頭常見的共享單車，車頭的籃筐里都會有一塊光伏太陽能板。其實，在光伏太陽能電池片的制備中，需要靠氣體來鍍膜，靠氣體來刻蝕，靠氣體來清洗，許多重要環(huán)節(jié)都是要靠氣體質(zhì)量流量控制器來承擔(dān)。因此，在類半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中，包括光伏行業(yè)、LED行業(yè)，對氣體控制要求很高，對氣體質(zhì)量流量控制的要求也很高。在集成電路裝備產(chǎn)業(yè)里面，氣體質(zhì)量流量控制也是非常核心的一個環(huán)節(jié)。

苦干

磨劍三年 挑戰(zhàn)世界先進水平

一個這么神奇的設(shè)備到底有多大呢？其實，氣體質(zhì)量流量控制器的體積很小，不過比手機大一點�？删褪沁@么一個小小的“盒子”，中國人卻曾經(jīng)生產(chǎn)不出來。可以說，國產(chǎn)氣體質(zhì)量流量控制器的誕生，是國外的技術(shù)封鎖逼出來的。

2005年，牟昌華博士畢業(yè)，成了一名應(yīng)用工程師。那個時候，國外進口的設(shè)備獨步天下，相關(guān)技術(shù)也為西方發(fā)達國家所壟斷。當(dāng)時國內(nèi)只能生產(chǎn)一些模擬產(chǎn)品，這樣的產(chǎn)品根本談不上高精尖，只能應(yīng)用于一些低端產(chǎn)業(yè)中。國產(chǎn)設(shè)備不僅精度比較差，反應(yīng)時間長達5到8秒，而且很不穩(wěn)定，故障頻頻。

剛?cè)胄械娜兆永铮�牟昌華的角色更像個售后客服，每天都能接到客戶的抱怨。有一次，他去深圳一個客戶那里，客戶向他“演示”設(shè)備的各種故障，他自己都沒法解釋。“當(dāng)時很有挫敗感，而且問題解決不了，只能退貨。”

知恥而后勇。2006年，牟昌華向世界先進水平發(fā)起挑戰(zhàn)，主持研發(fā)國產(chǎn)新一代數(shù)字氣體質(zhì)量流量控制器。國內(nèi)高校沒有氣體質(zhì)量流量控制專業(yè)，而且國外還有技術(shù)封鎖，即便拆開了人家的設(shè)備，也不知道其中的原理。牟昌華帶領(lǐng)著五六個人的研發(fā)團隊，苦心孤詣地研究了三年。那段時間，牟昌華和他的團隊是在無休止的加班中度過的。回想起這段日子，牟昌華感慨：雖然累，但是很充實。“我們每天都能發(fā)現(xiàn)問題，每天都會有進步。”開發(fā)一個配套軟件，國外的團隊可能需要一到兩年，而他們用了12個星期就做出來了。

責(zé)任

親自“排險” 檢驗產(chǎn)品對客戶負責(zé)

2009年，項目組成功研制了CS200氣體質(zhì)量流量控制器，這是國內(nèi)第一款自主研發(fā)的數(shù)字產(chǎn)品。在外界看來，辛勤工作有了成果，從此可以高枕無憂了。但在牟昌華看來，這僅僅是一個開始。因為產(chǎn)品是否稱得上成功，還要靠市場的檢驗。

正如他所料，CS200投放到市場之后，出現(xiàn)了一系列的問題。在產(chǎn)品問世后的兩年間，牟昌華一直在出差。“我可能上午、中午、晚上都會在不同的城市，所以我養(yǎng)成了一個習(xí)慣，每天晚上都會在床頭放上第二天的早餐，這樣一起床就能直接出門了。”那段時間里，牟昌華陪伴家人的日子屈指可數(shù)。但為了能夠多陪伴家人一會兒，只要工作一做完，無論多晚，他都要乘坐“紅眼航班”飛回北京。

牟昌華說，他之所以要親自出馬，是為了能夠第一時間知道客戶的抱怨。“因為這個產(chǎn)品是一個綜合性的產(chǎn)品，當(dāng)出故障之后，你很難判斷這個問題是在哪個地方：是在機械，還是電氣，還是在軟件上……我看這個產(chǎn)品，就像看我們家孩子一樣，我能知道他在哪個地方會有問題，自己去的話就可以心中有數(shù)。”

在團隊中，牟昌華的責(zé)任心強是公認的。一次，天津一個客戶反饋設(shè)備有問題無法解決，牟昌華凌晨3點就來到了單位，思考問題的解決方案。“我到辦公室列了個單子，把帶哪些設(shè)備，做哪些實驗都列在了上面。”經(jīng)過腦海中的反復(fù)推演，牟昌華才動身去車站。到了天津，他發(fā)現(xiàn)問題并不是出在他的產(chǎn)品上，但他還是幫客戶順利地解決了問題。牟昌華坦言，他之所以如此重視這次“險情”，是因為關(guān)系到客戶的一套價值上千萬元的設(shè)備，出于對客戶負責(zé)的態(tài)度，他理應(yīng)這樣。

奮斗

不吃老本

科研領(lǐng)域不斷前行

說到技術(shù)，牟昌華變得興奮起來。他所從事的事業(yè)，是一種對氣體進行精確測量和控制的解決方案，全世界都在使用。毫不夸張地說，一個國家對氣體控制的水平高低，決定著一個國家工業(yè)水平的高低。在國內(nèi)，掌握這項技術(shù)的團隊只此一家，他們的產(chǎn)品達到了世界頂尖水平，競爭對手基本上都來自國外。

取得這樣的成績，牟昌華身上的擔(dān)子依舊沒有輕下來。“一個問題解決了，前面還會有十個問題在等著你，科研工作就是這樣把你往前推，而不能吃老本。”他說，現(xiàn)在他們的售后問題越來越少了，產(chǎn)能問題卻越來越凸顯。

前不久，牟昌華的單位搬到了位于亦莊的新廠房。整理資料的時候，牟昌華找到了一張幾年前的生產(chǎn)指標。“當(dāng)時半年才能生產(chǎn)3000臺，現(xiàn)在一個月的出貨量就不止這些了。”這一數(shù)字的變化，反映了國內(nèi)企業(yè)對于氣體質(zhì)量流量控制裝備的需求越來越大，也折射出國家制造水平的提高。